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高科技潔凈廠房裝修工程要點
發布者:翼展凈化工程公司瀏覽次數:發布時間:2025-09-28
建造高科技潔凈廠房是一項極其復雜的系統工程,需要多專業、跨領域的緊密協作。我們將從關鍵步驟、分系統詳解和注意事項方面,為您系統地闡述如何建造一座高科技潔凈廠房。

    建筑與結構

        材料:墻面和吊頂多用彩鋼板(防火、光滑、不易產塵),地面多用環氧樹脂或PVC卷材(耐磨、抗化學腐蝕、防靜電)。

        布局:采用“蜂巢”式布局,核心區(潔凈區)、支持區(設備夾層/技術走廊)、非潔凈區明確分開。人流、物流、污物流線清晰,避免交叉。

    凈化空調系統(MAU+FFU+DCC)

        這是潔凈廠房的“心臟”和“肺”,能耗占比最高(可達60%-70%)。

        常見形式:

            MAU(新風機組):集中處理新風,承擔全部濕負荷和部分冷負荷。

            FFU(風機過濾單元):在吊頂內組成滿布率很高的送風面,實現高潔凈度等級的垂直單向流。高效/超高效過濾器(HEPA/ULPA)位于FFU內。

            干盤管(DCC):位于技術夾層,負責消除室內的顯熱負荷(設備發熱),因其不通水,避免了漏水的風險。

        氣流組織:上送(通過FFU)下回(通過高架地板或側墻回風柱),形成垂直單向流,能高效排除粒子。

    高純物質輸送系統

        超純水系統:采用“預處理+反滲透+EDI+拋光混床”等多道工藝,水質可達18.2 MΩ·cm。

        特種氣體系統:根據氣體特性(劇毒、易燃、腐蝕性、惰性)采用不同級別的輸送和監控方案,使用EP級(電拋光)不銹鋼管道,雙套管輸送,尾氣處理。

        化學品供應系統:多為防腐蝕、高純度的PFA或SUS316L材質,精確輸送到機臺。

    自動控制系統(BMS/EMS)

        實時監控和調節溫濕度、壓差、風量、水質、氣體濃度等成千上萬個點。

        具備報警、記錄、數據分析功能,是確保環境穩定和合規的關鍵。

    其他關鍵系統

        防微振系統:對于光刻等精密設備,需要特殊的基礎隔振(如厚重混凝土臺)或主動隔振平臺。

        防靜電系統:防靜電地板、離子風扇、接地系統等。

        照明系統:高照度、防眩光、潔凈燈具。

重要注意事項

    能耗是巨大挑戰:應采用節能技術,如:熱回收裝置(從排風中回收能量)、變頻驅動(VFD)、高效電機、冷熱電聯供(CCHP)等。

    “二次配”成本與工期:這部分(設備接入)的成本和復雜性常被低估,需提前規劃。

    變更管理:施工過程中的任何變更都必須嚴格評估其對潔凈環境、氣流和系統性能的影響。

    團隊經驗:業主、設計院、承包商和監理團隊都必須具備豐富的潔凈室項目經驗,這是項目成功的最重要保障。

總結來說,建造高科技潔凈廠房是一個以工藝需求為龍頭,以凈化空調為核心,通過精密設計、嚴格施工和全面驗證,最終實現一個可控、穩定、高效生產環境的復雜過程。 強烈建議在項目初期就引入頂尖的、有成功案例的設計咨詢和工程管理團隊。

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